潔凈等級(jí)≥0.5μm顆粒數(shù)/m3換氣次數(shù)(次/h)氣流形式適用場(chǎng)景ISO 1≤10500-600+單向流(層流)半導(dǎo)體芯片、納米技術(shù)ISO 3≤1,000300-500單">
無(wú)塵車間(潔凈室)的裝修標(biāo)準(zhǔn)級(jí)別主要依據(jù) 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ISO 14644) 和 行業(yè)規(guī)范(如GMP) 劃分,不同級(jí)別對(duì)潔凈度、換氣次數(shù)、氣流組織等有嚴(yán)格規(guī)定。以下是詳細(xì)分類及關(guān)鍵參數(shù):
| 潔凈等級(jí) | ≥0.5μm顆粒數(shù)/m3 | 換氣次數(shù)(次/h) | 氣流形式 | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | ≤10 | 500-600+ | 單向流(層流) | 半導(dǎo)體芯片、納米技術(shù) |
| ISO 3 | ≤1,000 | 300-500 | 單向流 | 光刻機(jī)、航天精密部件 |
| ISO 5 | ≤3,520 | 300-600 | 單向流 | 無(wú)菌制藥(A/B級(jí))、IC封裝 |
| ISO 7 | ≤352,000 | 20-50 | 非單向流(亂流) | 醫(yī)療器械、液晶面板 |
| ISO 8 | ≤3,520,000 | 10-20 | 非單向流 | 食品包裝、普通電子組裝 |
| 等級(jí) | 動(dòng)態(tài)/靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn) | 換氣次數(shù) | 壓差(Pa) | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|
| A級(jí) | 動(dòng)態(tài)ISO 5,靜態(tài)ISO 5 | 單向流 | ≥15 | 無(wú)菌灌裝、高風(fēng)險(xiǎn)操作區(qū) |
| B級(jí) | 動(dòng)態(tài)ISO 7,靜態(tài)ISO 5 | 50-60 | ≥10 | 無(wú)菌配制背景區(qū) |
| C級(jí) | 動(dòng)態(tài)ISO 8,靜態(tài)ISO 7 | 20-30 | ≥5 | 低風(fēng)險(xiǎn)無(wú)菌操作 |
| D級(jí) | 動(dòng)態(tài)ISO 8,靜態(tài)ISO 8 | 10-15 | ≥5 | 非無(wú)菌產(chǎn)品生產(chǎn) |
| 等級(jí) | 顆粒控制要求 | AMC(氣態(tài)分子) | 防靜電 |
|---|---|---|---|
| Class 1 | ISO 3級(jí)(0.1μm) | 嚴(yán)格控制 | 地面電阻10?-10?Ω |
| Class 10 | ISO 4級(jí)(0.2μm) | 部分控制 | EPA區(qū)域離子風(fēng)機(jī) |
| Class 100 | ISO 5級(jí)(0.5μm) | 基礎(chǔ)控制 | 防靜電工作服 |
| 項(xiàng)目 | ISO 5(百級(jí)) | ISO 7(萬(wàn)級(jí)) | ISO 8(十萬(wàn)級(jí)) |
|---|---|---|---|
| 圍護(hù)結(jié)構(gòu) | 不銹鋼/彩鋼板(密封) | 彩鋼板(接縫密封) | 彩鋼板(基礎(chǔ)密封) |
| 地面材料 | 環(huán)氧自流平(防靜電) | 環(huán)氧/PVC(防靜電) | PVC/水磨石 |
| 過(guò)濾器配置 | H14 HEPA+ULPA | H13 HEPA | H13 HEPA(末端) |
| 氣流組織 | 頂送側(cè)回(單向流) | 高效送風(fēng)口+亂流 | 高效送風(fēng)口+亂流 |
| 壓差控制 | ≥15Pa | ≥10Pa | ≥5Pa |
半導(dǎo)體車間
等級(jí):ISO 3-5級(jí)
要求:AMC控制+防靜電地板+FFU滿布。
生物制藥無(wú)菌車間
等級(jí):GMP A級(jí)(ISO 5動(dòng)態(tài))
要求:不銹鋼墻面+VHP滅菌+單向流。
食品包裝車間
等級(jí):ISO 8級(jí)
要求:PVC墻面+高效送風(fēng)口。
工藝需求:
芯片生產(chǎn)需ISO 3級(jí)(0.1μm顆粒控制),而食品包裝ISO 8級(jí)即可。
成本控制:
ISO 5級(jí)造價(jià)是ISO 8級(jí)的3-5倍,非核心區(qū)可降級(jí)。
法規(guī)合規(guī):
制藥行業(yè)必須滿足GMP,電子行業(yè)參考SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
Q:ISO 8級(jí)能否通過(guò)增加換氣次數(shù)達(dá)到ISO 7級(jí)?
A:不能!需同步升級(jí)過(guò)濾器(H13→H14)和氣流組織(亂流→單向流)。
Q:GMP A級(jí)與ISO 5級(jí)的區(qū)別?
A:GMP A級(jí)要求動(dòng)態(tài)生產(chǎn)時(shí)仍達(dá)標(biāo),需實(shí)時(shí)監(jiān)控;ISO 5級(jí)僅靜態(tài)檢測(cè)。
無(wú)塵車間級(jí)別選擇需結(jié)合 工藝、成本、法規(guī) 三要素,核心控制:
顆粒物/微生物(ISO/GMP標(biāo)準(zhǔn))。
材料與設(shè)備(不銹鋼/HEPA/FFU)。
動(dòng)態(tài)合規(guī)(生產(chǎn)時(shí)持續(xù)達(dá)標(biāo))。
建議委托專業(yè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行 CFD氣流模擬 和 第三方認(rèn)證(如CNAS檢測(cè))。