《電子工業潔凈廠房設計規范》（GB 50472－2008）是中國針對電子工業潔凈廠房設計的國家標準，旨在確保潔凈廠房的設計、建造和運行符合電子工業生產的特殊要求。以下是該規范的主要內容概述：
行業范圍: 適用于電子工業中的半導體、集成電路、平板顯示、光電子、電子元器件等領域的潔凈廠房設計。
建設階段: 涵蓋潔凈廠房的規劃、設計、施工、驗收和運行維護。
潔凈度要求: 根據生產工藝要求，確定潔凈廠房的潔凈度等級。
節能環保: 采用節能技術和環保材料，減少能源消耗和環境污染。
安全可靠: 確保廠房結構安全，設備運行可靠，符合消防安全和職業健康要求。
等級劃分: 參照ISO 14644-1標準，將潔凈廠房劃分為不同的潔凈度等級（如ISO 1至ISO 9）。
控制參數: 包括空氣中懸浮粒子濃度、微生物濃度、溫濕度、壓差等。
功能分區: 根據生產工藝流程，合理劃分生產區、輔助區、辦公區等。
人流物流分離: 設計專用的人流和物流通道，避免交叉污染。
設備布局: 優化設備布局，減少物料和人員的移動距離。
建筑材料: 選用耐腐蝕、易清潔、不產塵的材料。
建筑高度: 根據設備高度和氣流組織要求，確定建筑高度。
承重能力: 確保建筑結構具備足夠的承重能力，支持重型設備和多層布局。
空氣處理: 采用高效過濾器（HEPA或ULPA）處理空氣，確保潔凈度。
氣流組織: 設計合理的氣流組織，確保潔凈空氣覆蓋關鍵區域。
壓差控制: 通過壓差控制，防止低潔凈區空氣進入高潔凈區。
水質要求: 根據生產工藝要求，提供符合標準的純水和超純水。
排水系統: 設計完善的排水系統，確保廢水處理符合環保要求。
電力供應: 確保穩定可靠的電力供應，必要時配備備用電源。
照明系統: 采用防塵、防爆的照明設備，確保照明充足。
接地系統: 設計合理的接地系統，確保設備安全運行。
消防設施: 配備必要的消防設施，如滅火器、消防栓、自動噴淋系統等。
安全通道: 設計足夠的安全通道和緊急出口，確保人員安全疏散。
監控系統: 安裝監控攝像頭和報警系統，實時監控廠房安全。
驗收標準: 制定詳細的驗收標準，確保潔凈廠房符合設計要求。
運行維護: 制定并執行運行維護計劃，確保設備和系統持續有效運行。
定期檢測: 定期檢測潔凈度、溫濕度、壓差等參數，確保符合標準。
附錄A: 潔凈度等級對照表。
附錄B: 常用材料和設備的潔凈度要求。
附錄C: 設計計算方法和公式。
《電子工業潔凈廠房設計規范》（GB 50472－2008）為電子工業潔凈廠房的設計、建造和運行提供了全面的指導。通過遵循該規范，可以確保潔凈廠房的高效運行和長期穩定，滿足電子工業生產的特殊要求。
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