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無塵車間設計基礎與原則

技術分享 2025-07-08 昊銳凈化機電 0

無塵車間(Cleanroom)是一種通過控制空氣中的微粒、溫濕度、壓力、氣流等參數,以滿足特定生產工藝或實驗需求的環境。其設計需要遵循嚴格的標準和科學原則,以確保環境參數符合行業要求。


一、無塵車間設計的基本原則

  1. 污染控制原則

    • 源頭控制:減少污染物產生(如人員、設備、材料帶入的微粒)。

    • 過程控制:通過氣流組織、壓差管理、過濾系統等防止污染物擴散。

    • 末端控制:采用高效過濾器(HEPA/ULPA)去除空氣中的微粒。

  2. 氣流組織原則

    • 單向流(層流):氣流以均勻速度平行流動(適用于高潔凈度區域,如ISO 5級)。

    • 非單向流(亂流):氣流呈不規則流動(適用于較低潔凈度區域,如ISO 7-8級)。

  3. 壓差控制原則

    • 正壓控制:潔凈度高的區域壓力應高于相鄰低潔凈區(防止外部污染進入)。

    • 負壓控制:用于生物安全實驗室或有毒物質操作區(防止內部污染外泄)。

  4. 材料與表面處理原則

    • 光滑、不產塵:墻面、地面、天花板應采用無縫隙、易清潔的材料(如彩鋼板、環氧自流坪)。

    • 防靜電:電子行業需采用防靜電地板、墻面材料。

  5. 人機物凈化原則

    • 人員凈化:設置風淋室、更衣間、洗手消毒設施。

    • 物料凈化:采用傳遞窗、物料氣閘室。

    • 設備凈化:設備進車間前需清潔,避免帶入微粒。


二、潔凈等級標準

潔凈室等級通常按照國際標準(如 ISO 14644-1 或美國 FS 209E)劃分,主要依據單位體積空氣中的微粒數量。

ISO 等級FS 209E 等效≥0.5μm 粒子最大允許數量(每立方米)典型應用
ISO 1-≤10半導體光刻
ISO 3Class 1≤1,000芯片制造
ISO 5Class 100≤100,000制藥無菌灌裝
ISO 7Class 10,000≤10,000,000醫療器械生產
ISO 8Class 100,000≤100,000,000食品包裝

不同行業對潔凈度的典型要求:

  • 電子行業(半導體、芯片):ISO 1-5(Class 1-100)

  • 制藥行業(無菌生產):ISO 5-7(Class 100-10,000)

  • 醫療器械:ISO 7-8(Class 10,000-100,000)

  • 食品行業:ISO 8(Class 100,000)


三、氣流組織設計

1. 單向流(層流)設計

  • 特點:氣流以均勻速度(通常 0.3~0.5 m/s)單向流動,快速帶走污染物。

  • 應用:高潔凈度區域(ISO 1-5級),如手術室、芯片制造、無菌灌裝區。

  • 實現方式

    • 垂直層流:FFU(風機過濾單元)安裝在頂部,回風在地面。

    • 水平層流:送風墻+對面回風墻(適用于狹長空間)。

2. 非單向流(亂流)設計

  • 特點:氣流呈不規則流動,靠稀釋作用降低污染濃度。

  • 應用:較低潔凈度區域(ISO 6-8級),如包裝區、更衣室。

  • 實現方式

    • 頂送側回:高效過濾器送風,側墻回風。

    • 擴散送風:通過散流器均勻送風。

3. 混合流設計

  • 特點:結合單向流和亂流,核心區域用層流,周邊用亂流。

  • 應用:部分制藥車間、電子組裝區。


四、不同行業的無塵車間設計要點

1. 電子行業(半導體、芯片制造)

  • 潔凈度要求:ISO 1-5(Class 1-100)

  • 關鍵設計

    • 超高效過濾(ULPA):過濾 0.1μm 微粒。

    • 防靜電(ESD):防靜電地板、離子風機。

    • AMC(氣態分子污染物)控制:化學過濾器去除酸性/堿性氣體。

    • 微振動控制:設備需防震基礎。

2. 制藥行業(無菌生產)

  • 潔凈度要求:ISO 5-7(Class 100-10,000)

  • 關鍵設計

    • GMP 合規:符合 FDA/EMA 規范。

    • 無菌屏障:RABS(限制進出屏障系統)或隔離器。

    • 消毒方式:VHP(汽化過氧化氫)滅菌。

    • 單向流保護:關鍵操作區(如灌裝線)必須用層流罩。

3. 醫療器械行業

  • 潔凈度要求:ISO 7-8(Class 10,000-100,000)

  • 關鍵設計

    • 易清潔表面:無死角、圓弧角設計。

    • 生物安全:部分區域需負壓控制(如病毒檢測實驗室)。

4. 食品行業

  • 潔凈度要求:ISO 8(Class 100,000)

  • 關鍵設計

    • 防霉抗菌:墻面、地面用抗菌涂層。

    • 溫濕度控制:防止微生物滋生。


五、總結

設計要素關鍵原則
潔凈等級根據行業選擇(電子最高,食品較低)
氣流組織高潔凈度用單向流,低潔凈度用亂流
壓差控制潔凈區>緩沖區>非潔凈區(正壓);生物安全區用負壓
材料選擇不產塵、易清潔、防靜電(電子)、抗菌(食品)
人機物凈化風淋室、傳遞窗、設備清潔程序

設計核心目標:在滿足生產工藝需求的同時,確保潔凈室長期穩定運行,符合行業法規(GMP、ISO、FDA等)。

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